INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Software Editor Operating Manual - Manual (Page 12)

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XTC/3 Editor Operating Manual
3.6 Editing the I/O Map Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
3.7 Editing Film Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13
3.8 Creating a Process (XTC/3M Only) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
Chapter 4
Monitor
4.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2 Starting Monitor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2.1 The Data Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.2.2 The Control Panel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.2.3 The Display Grid. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.2.4 Saving Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
4.2.4.1 The Display Smoothing Setting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.2.4.2 Setting a Mark . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.2.4.3 The Pause and Start/Stop Controls . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
4.3 Editing the Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
4.3.1 Edit Current Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.3.2 New Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.3.3 Open Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.4 Recalling Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.5 Generating Reports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
4.6 The Event Log . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14
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