INFICON SQM-242 Thin Film Deposition Controller Card Operating Manual User Manual

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N 07

SQM-242 Operating Manual

Table Of Contents

Introduction

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1

1.1.1

Related Manuals. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2

1.2

Instrument Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3

1.2.1

Definition of Notes, Cautions and Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3

1.2.2

General Safety Information. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4

1.3

How To Contact Customer Support . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

1.3.1

Returning Your Instrument to INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

1.4

Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

1.4.1

SQM-242 Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

1.4.2

SAM-242 Inputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

1.4.3

SQM-242/SAM-242 Outputs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

1.4.4

Setup Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

1.4.5

External Communications (SQS-242 only). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7

1.4.6

Computer Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7

1.4.7

General Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7

1.4.8

Operating Environment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.4.9

Storage Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.4.10

Warm Up Period . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.4.11

Size. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.4.12

Connector Clearance Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.4.13

Weight . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

1.5

Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9

1.6

Parts and Options Overview. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9

1.6.1

Base Configurations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9

1.6.2

Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9

1.6.3

Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10