INFICON SQM-242 Thin Film Deposition Controller Card Operating Manual - Manual (Page 10)

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A
SQM-242 Operating Manual
Chapter 2
Installation
2.1 SQM-242 Card Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.2 SQM-242 Driver Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
2.3 Software Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
2.4 SQM-242 Card Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.5 SAM-242 Card Connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.6 Digital I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
Chapter 3
SQM-242 CoDep
3.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Main Dialog Box . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.3 Edit: Auto/Manual Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.4 Edit: Recorder Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
3.5 File Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
3.6 View Menu . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
3.6.1 View Menu: Readings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-6
3.6.2 View Menu: Input Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
3.6.3 View Menu: Card Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10
Chapter 4
SQM-242 Monitor
4.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Chapter 5
SQM-242 Multi
5.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Chapter 6
Communications
6.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.2 DLL Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.3 Sample Files. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
Chapter 7
Troubleshooting and Maintenance
7.1 Troubleshooting Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
7.1.1 Troubleshooting the SQM-242 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
7.1.2 Troubleshooting Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-4
7.1.3 Troubleshooting Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-9