INFICON SQM-242 Thin Film Deposition Controller Card Operating Manual - Manual (Page 11)

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SQM-242 Operating Manual
7.2 Replacing the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
7.2.1 Front Load . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-10
7.2.2 Cool Drawer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-11
7.2.3 Bakeable Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-13
7.2.4 Sputtering Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-14
7.2.5 Crystal Snatcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-15
7.3 Crystal Sensor Emulator
IPN 760-601-G2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-16
7.3.1 Diagnostic Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-17
7.3.1.1 Measurement System Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-17
7.3.1.2 Feed-Through Or In-Vacuum Cable
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-18
7.3.1.3 Sensor Head Or Monitor Crystal
Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-19
7.3.1.4 System Diagnostics Pass But
Crystal Fail Message Remains. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-20
7.3.2 Sensor Cover Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-21
7.3.2.1 Compatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-21
7.3.2.2 Incompatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-21
7.3.3 Emulator Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-22
Chapter 8
Calibration
8.1 Importance of Density, Tooling and Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.2 Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-1
8.3 Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
8.4 Laboratory Determination of Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-2
8.5 Tuning the Control Loop . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-4
8.5.1 Fast Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-6
8.5.2 Slow Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-7
8.5.3 Loop Tuning Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8-8
Chapter 9
Measurement and Control Theory
9.1 Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-1
9.1.1 Monitor Crystals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-2
9.1.2 Period Measurement Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-4
9.1.3 Z-match Technique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-5
9.1.4 Active Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-6
9.1.5 Control Loop Theory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9-8