INFICON Front Load Single Sensor - Manual (Page 9)

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Front Load Single and Dual Sensors Operating Manual
Chapter 5
Troubleshooting
5.1 Troubleshooting Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.1 Symptom, Cause, Remedy. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.2 Digital Multimeter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-3
5.1.2.1 Electrical Isolation Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.1.2.2 Electrical Continuity Check. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
5.1.3 Crystal Sensor Emulator. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-10
5.1.3.1 Measurement System Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-11
5.1.3.2 Crystal Holder and Ceramic Retainer Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-12
5.1.3.3 Feedthrough and In-Vacuum Cable Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-13
5.1.3.4 Crystal Life Readings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-13