INFICON Front Load Single Sensor - Manual (Page 8)

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Front Load Single and Dual Sensors Operating Manua
Chapter 2
Sensor Installation
2.1 Pre-installation Sensor Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.1 Sensor Check with XTC/3, IC6, or Cygnus 2
Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.2 Sensor Check with STM-2XM, STM-3, SQM-160, SQC-310,
SQM-242, or IQM-233 Deposition Controller/Monitor . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
2.1.3 Sensor Check with Q-pod
™
or STM-2 Deposition Monitor. . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.1.4 Sensor Shutter Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.2 Sensor Installation Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.3 Sensor Installation Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
2.3.1 Tube Bending . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
2.4 Sensor Shutter Module Installation on Existing Equipment . . . . . . . . . . . . 2-11
2.4.1 Shutter Module Installation on a
Standard Crystal Sensor (PN SL-A0XXX) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.4.2 Shutter Module Installation on a
Right Angle Crystal Sensor (PN SL-B0XXX) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
Chapter 3
Solenoid Valve Assembly Installation
3.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Installation with a 2.54 cm (1 in.) Bolt Feedthrough . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.3 Installation with a CF40 (2-3/4 in. ConFlat) Feedthrough. . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.4 Pneumatic Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
3.5 Electrical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
3.6 Solenoid Valve Drawings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Chapter 4
Maintenance and Spare Parts
4.1 General Precautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1 Handle the Crystal with Care . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.2 Use the Optimum Crystal Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.3 Maintain the Temperature of the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.1.4 Crystal Concerns when Opening the Chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.2 Crystal Replacement Instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.3 Sensor Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.3.1 Adjusting the Leaf Spring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.3.2 Cleaning the Crystal Holder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
4.3.3 Adjusting the Crystal Holder Retainer Spring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
4.3.4 Replacing the Finger Spring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.3.5 Lubricating the Shutter Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.4 Spare Parts and Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10