beautypg.com

4 pressure modules – Bronkhorst FLOW-SMS Series User Manual

Page 11

background image

BRONKHORST HIGH-TECH B.V.

The control valve used in the FLOW‐SMS series is a standard, direct 
operated solenoid valve (normally opened or normally closed), 
operated through the PID‐control function on the pc‐board of the 
flow or pressure meter. The diameter of the orifice under the 
plunger is optimised for the customer’s specification. 
 

9.17.057

page 11

Controllers or valves may not operate correctly, if process conditions vary too much, because of the 
restriction of the orifice in the valve. 

 
Instructions for replacing a Mass Flow Meter (MFM) or 
Mass Flow Controller (MFC) module:  

MFC 


-

Removal 
Ensure that the system is depressurised before taking Flow 
module apart. 
The power must be off when removing the electrical connectors. 
Loosen the 4 bolts (M4) with hexagon head counter clockwise to 
release the Flow module. 

 
-

Replacement 
Replace the gaskets depending on the type: FS‐200CV 2xAS‐108,  
FS‐201CV 1xAS‐115 and 1xAS‐108, FS‐202CV 1xAS‐118 and 1xAS‐108. 
Viton, EPDM or Kalrez. 
All wetted parts have to be absolutely clean, don’t use oil or 
grease and avoid dust! 
Replace the Flow module and tighten the M4 bolts with hexagon 
head by turning clockwise, tighten crosswise with 2,0 Nm. 
Reattach the electrical connector. 
Now the Flow module has to be tested for leakage and function. 

MFM 


 
Available Mass Flow Controller / Mass Flow Meter modules

 

Type 

Type 

Nominal 

Range 

Description 

Controller (MFC) 

Meter (MFM) 

  

Range (based on N2@ 1 bara 

FS‐200CV 

FS‐100C 

005 

0.06…3 up to 0,18…9 mln/min 

FS‐201CV 

FS‐101C  

020 

0.16…8 up to 0,6…30 mln/min 

FS‐201CV 

FS‐101C 

050 

0,4…20 up to 1,5…75 mln/min 

FS‐201CV 

FS‐101C 

100 

0,8…40 up to 3…150 mln/min 

FS‐201CV 

FS‐101C 

200 

1,6…80 up to 6…300 mln/min 

FS‐201CV 

FS‐101C 

500 

4…200 up to 15…750 mln/min 

FS‐201CV 

FS‐101C 

1k0 

8…400 up to 30…1500 mln/min 

FS‐201CV 

FS‐101C 

2k0 

16…800 up to 60…3000 mln/min 

FS‐201CV 

FS‐101C 

5k0 

0,04…2 up to 0,15…7,5 ln/min 

FS‐201CV 

FS‐101C 

7k0 

0,05…2.6 up to 0,2…10 ln/min 

FS‐202CV 

FS‐102C 

10k 

0.08…4 up to 0.3…15 ln/min 

FS‐202CV 

FS‐102C 

20k 

0,16…8 up to 0.6…30 ln/min 

FS‐202CV 

FS‐102C 

35k 

0,25…12.5 up to 1…50 ln/min 

2.13.4 Pressure modules

FLOW‐SMS pressure meters/controllers range from 100 mbar up to 10 bar,  
measuring either absolute pressure or gauge pressure, with a very high accuracy  
and repeatability. The instruments are equipped with a diaphragm based  
piezo‐resistive sensor. Pressure controllers are available as forward controller  
(P‐600 series) and backward controller (P‐700 series).  
The flow going through the pressure controller depends on up and downstream  
pressures, orifice diameter of the valve and the density of the fluid.