INFICON STM-2 USB Thin Film Rate/Thickness Monitor User Manual
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A
STM-2 Operating Manual
Starting the STM-2 LabVIEW Application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
Starting the Software in Windows XP or Windows 7 . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
Starting the Software in Windows 8 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
STM-x_win32.VI Window . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
Manual Connection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
Simulate Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
Operate. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
Films . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12
Rate Graph . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14
Mass/Thick Graph . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-15
Frequency Graph . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16
Help/About . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-18
Communication
Communication Protocol . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
Sycon Multi-Drop Protocol (SMDP) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
Command Format. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
Checksum. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
Command Packet Format. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
Response Packet Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
Optional Serial Command Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6
Optional Serial Command Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
Additional Option to Serial Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-7
Communications Commands . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-8
Troubleshooting and Maintenance
Troubleshooting Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
Indicator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
General STM-2 Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
Troubleshooting Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-7
Calibration Procedures
Importance of Density, Tooling and Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-1
Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-2
Laboratory Determination of Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7-3