INFICON Q-pod Thin Film Deposition Monitor - Manual (Page 11)

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Q-pod Operating Manual
Chapter 5
Calibration Procedures
5.1 Importance of Density, Tooling and Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.2 Determining Density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.3 Determining Tooling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
5.4 Laboratory Determination of Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-2
Chapter 6
Measurement and Theory
6.1 Basics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-1
6.1.1 Monitor Crystals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-2
6.1.2 Period Measurement Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-4
6.1.3 Z-match Technique. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-5
6.1.4 Active Oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6-6
Appendix A
Material Table
A.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .A-1