INFICON Q-pod Thin Film Deposition Monitor - Manual (Page 10)

TOC - 2
IP
N 07
4-
54
7-
P1
B
Q-pod Operating Manual
Chapter 3
Communications
3.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 ASCII Command Set . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.3 QPOD.DLL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.3.1 Registering QPOD.DLL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.3.2 Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.3.3 Events . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
3.4 Calculating Rate and Thickness. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
3.5 Sample Programs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Chapter 4
Troubleshooting and Maintenance
4.1 Troubleshooting Guide . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1 Status LED . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1.1 LED illuminated steady. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1.2 LED flashes slowly (about 2 Hz) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1.3 LED flashes rapidly (about 10 Hz) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.2 Troubleshooting the Q-pod. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.1.3 Troubleshooting Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.1.4 Troubleshooting Computer Communications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.2 Replacing the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.2.1 Front Load . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
4.2.2 Cool Drawer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-10
4.2.3 Bakeable Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-12
4.2.4 Sputtering Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-13
4.2.5 Crystal Snatcher. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-14
4.3 Crystal Sensor Emulator IPN 760-601-G2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-15
4.3.1 Diagnostic Procedures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16
4.3.1.1 Measurement System Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-16
4.3.1.2 Feed-Through Or In-Vacuum Cable Diagnostic Procedure . . . . . . . . . . . . 4-17
4.3.1.3 Sensor Head Or Monitor Crystal Diagnostic Procedure. . . . . . . . . . . . . . . 4-18
4.3.1.4 System Diagnostics Pass But Crystal Fail Message Remains. . . . . . . . . . 4-19
4.3.2 Sensor Cover Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20
4.3.2.1 Compatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20
4.3.2.2 Incompatible Sensor Heads . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-20
4.3.3 Emulator Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-21