INFICON UHV Bakeable Sensor - Manual (Page 8)

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UHV Bakeable Sensor Operating Manual
Chapter 3
Solenoid Valve Assembly Installation
3.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Installation with the UHV Bakeable Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.3 Pneumatic Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.4 Electrical Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Chapter 4
Maintenance and Spare Parts
4.1 General Precautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.1 Handle the Crystal with Care . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.2 Use the Optimum Crystal Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
4.1.3 Maintain the Temperature of the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.1.4 Crystal Concerns when Opening the Chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
4.2 Crystal Replacement Instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
4.3 UHV Bakeable Sensor Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.3.1 Adjusting the Leaf Spring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
4.3.2 Cleaning the Crystal Holder . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-6
4.3.3 Adjusting the Crystal Holder Retainer Spring. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-7
4.3.4 Lubricating the Clamping Mechanism . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.3.5 Lubricating the Shutter Module . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-8
4.4 Replacement Parts and Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-9
Chapter 5
Troubleshooting
5.1 Troubleshooting Tools . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.1 Symptom, Cause, Remedy . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1
5.1.2 Diagnostic Tools. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.1.2.1 PN 782-902-023 Oscillator with 5.5 MHz Test Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.1.2.2 OSC-100 Test Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.1.2.3 PN 761-601-G2 Crystal Sensor Emulator . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-4
5.1.2.4 XIU Test Function. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
5.1.3 Digital Multimeter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
5.1.3.1 Electrical Isolation Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-5
5.1.3.2 Electrical Continuity Check. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-6