INFICON UHV Bakeable Sensor User Manual

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TOC - 1

UHV Bakeable Sensor Operating Manual

Table Of Contents

Introduction and Specifications

1.1

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1

1.2

Definition of Notes, Cautions and Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2

1.3

How to Contact INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2

1.3.1

Returning the UHV Bakeable Sensor to INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3

1.4

Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3

1.4.1

UHV Bakeable Sensor Configuration Overview and Parts. . . . . . . . . . . . . . 1-4

1.5

Specifications for the UHV Bakeable Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

1.5.1

UHV Bakeable Sensor without Shutter (PN BK-A0F). . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

1.5.2

UHV Bakeable Sensor with Shutter (PN BK-A1F) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

1.5.3

Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

1.5.4

Installation Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7

1.6

UHV Bakeable Sensor Drawings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8

Chapter 2

UHV Bakeable Sensor Installation

2.1

Pre-installation Sensor Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1

2.1.1

Sensor Check with XTC/3, IC6, or Cygnus 2
Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1

2.1.2

Sensor Check with STM-2XM, STM-3, SQM-160, SQC-310,
SQM-242, or IQM-233 Deposition Controller/Monitor . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2

2.1.3

Sensor Check with Q-pod

™

or STM-2 Deposition Monitor. . . . . . . . . . . . . . 2-3

2.1.4

Sensor Shutter Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4

2.2

Sensor Installation Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4

2.3

Sensor Installation Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7

2.3.1

Tube Bending . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9

2.4

Providing Improved Cooling for the Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10