INFICON RSH-600 Rotary Sensor User Manual

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3800

-G

RSH-600 Operating Manual

Table Of Contents

Introduction

Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1

1.2

Configurations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2

1.3

Mounting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2

1.4

Safety . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3

1.4.1

Definition of Notes, Cautions and Warnings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3

1.5

How To Contact INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4

1.5.1

Returning Your Instrument . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4

1.6

Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5

1.7

Unpacking and Inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

1.7.1

Base Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6

1.8

Functional Verification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7

Chapter 2

Installation

2.1

Crystal Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1

2.2

Mounting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2

2.3

Adjustable Flange Installation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3

2.4

Copper Head Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4

2.5

Cooling System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5

2.6

Air Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5

2.7

Crystal Position Feedback Connections. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5

2.8

Protection from Evaporant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6

Chapter 3

Troubleshooting and Maintenance

3.1

Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1

3.2

Troubleshooting the RSH-600 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1

3.3

Maintain the Temperature of the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4

3.4

Use the Optimum Crystal Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4

3.5

Crystal Concerns when Opening the Chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4