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Detcon DM-700 User Manual

Page 49

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Model DM-700

DM-700 Instruction Manual

Rev. 4.0

Page 45 of 48

Table 6 Cross Interference Gasses pg.5

Gas

PF

3

SiH

4

Si

SiF

4

SO

2

C

4

H

8

S

C

4

H

4

S C

6

H5CH

3

WF

6

C

4

H

6

O

2

C

2

H

3

CL C

2

H

5

SH C

6

H

5

CH

3

C

2

H

3

O

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

40=45

n/d

n/d

40=200

40=200

n/d

40=55

C

2

H

2

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

340=45

n/d

n/d

340=200 340=200

n/d

340=55

C

3

H

3

N

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

75=45

n/d

n/d

75=200

75=200

n/d

75=55

NH

3

n/d

n/d

n/d

n/d

5=-0.5

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

AsH

3

n/d

1=0.56

n/d

n/d

2=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

Br

2

n/d

n/d

n/d

n/d

5=-0.1

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

C

4

H

6

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

170=45

n/d

n/d

170=200 170=200

n/d

170=55

CS

2

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

140=45

n/d

n/d

140=200 140=200

n/d

140=55

CO

n/d

n/d

n/d

n/d

5=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

Cl

2

n/d

n/d

n/d

n/d

5=-0.05

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

ClO

2

(>10ppm)

n/d

n/d

n/d

n/d

5=-0.016

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

ClO

2

(=10ppm)

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

B

2

H

6

n/d

1=0.72

n/d

n/d

2=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

C

3

H

5

OCl

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

50=45

n/d

n/d

50=200

50=200

n/d

50=55

C

2

H

5

OH

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

180=45

n/d

n/d

180=200 180=200

n/d

180=55

C

2

H

5

SH

n/d

n/d

n/d

n/d

5=<3

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/a

n/d

C

2

H

4

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

220=45

n/d

n/d

220=200 220=200

n/d

220=55

C

2

H

4

O

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

275=45

n/d

n/d

275=200 275=200

n/d

275=55

F

2

n/d

n/d

n/d

n/d

2=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

CH

2

O

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

330=45

n/d

n/d

330=200 330=200

n/d

330=55

GeH

4

n/d

1=1

n/d

n/d

2=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

N

2

H

4

n/d

n/d

n/d

n/d

2=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

H

2

(ppm)

n/d

n/d

n/d

n/d

5=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

H

2

(LEL)

n/d

n/d

n/d

n/d

2=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

HBr

n/d

n/d

n/d

n/d

5=2.5

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

HCl

n/d

n/d

n/d

n/d

5=2.5

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

HCN

n/d

n/d

n/d

n/d

2=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

HF

yes n/d

n/d

n/d

3=4(theory) yes n/d

n/d

n/d

n/d

yes n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

H

2

S

n/d

n/d

n/d

n/d

5=<1

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

3=1

n/d

CH

3

OH

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

415=45

n/d

n/d

415=200 415=200

n/d

413=55

CH

3

SH

n/d

n/d

n/d

n/d

5=<2

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

2=1

n/d

NO

n/d

n/d

n/d

n/d

5=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

NO

2

n/d

n/d

n/d

n/d

5=-0.025

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

O

3

n/d

1=0.015

n/d

n/d

2=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

COCl

2

n/d

n/d

n/d

n/d

2=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

PH

3

n/d

1=0.56

n/d

n/d

2=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

SiH

4

n/d

n/a

n/d

n/d

2=0

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

SO

2

n/d

n/d

n/d

n/d

n/a

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

C

4

H

6

O

2

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

200=45

n/d

n/d

n/a

200=200

n/d

200=55

C

2

H

3

Cl

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

n/d

200=45

n/d

n/d

200=200

n/a

n/d

200=55

n/a – not applicable
n/d – no data