INFICON Sputtering Sensor User Manual
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Sputtering Crystal Sensor Operating Manual
Maintenance
General Precautions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Handle the Crystal with Care . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Maintain the Temperature of the Crystal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Use the Optimum Crystal Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-1
Crystal Concerns when Opening the Chamber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Care of the Ceramic Retainer. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Leaf Spring Concerns. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-2
Crystal Replacement Instructions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-3
Retainer Spring Adjustment Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-4
Crystal Holder Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Sputtering Sensor Shutter Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4-5
Feedthrough Outline Drawings
List of Supplied Drawings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5-1