INFICON Sputtering Sensor - Manual (Page 11)

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Sputtering Crystal Sensor Operating Manual
Table Of Contents
Chapter 1
Sensor Specifications
1.1 Specifications for the
Sputtering Crystal Sensor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.1.1 Installation Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
1.1.2 Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.1.3 Unpacking Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.1.4 Inventory. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2
1.2 Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
1.3 Specifications for the Shutter Assembly . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
Chapter 2
Sensor Installation
2.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.2 Pre-installation Sensor Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.2.1 IC/5 Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.2.2 Applies to Sensor Installation with an IC-6000 or
XTC Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
2.2.3 Applies to Sensor Installation with an IC/4 or
IC/4 PLUS Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
2.2.4 Applies to Sensor Installation with an
XTC/2 or XTC/C Deposition Controller, or
XTM/2 Deposition Controller . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.3 General Guidelines. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4
2.3.1 Crystal Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5
2.4 Installing the Sputtering Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.5 Sensor Shutter Function Check . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
2.6 Sputtering Sensor Shutter Module
Installation Instructions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.6.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.6.2 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
Chapter 3
Installation of the Solenoid Valve Assembly
3.1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Installation with 1" Bolts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.3 Installation with 2 3/4" Feedthrough . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.4 Electrical and Pneumatic Connections . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.4.1 Electrical . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.4.2 Pneumatic. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3