Detcon DM-100 User Manual
Page 40
Model DM-100
DM-100 Instruction Manual
Rev. 3.3
Page 36 of 40
Table 5 Cross Interference Table (pg.5)
Gas
PF
3
SiH
4
Si
SiF
4
SO
2
C
4
H
8
S
C
4
H
4
S
C
6
H5CH
3
WF
6
C
4
H
6
O
2
C
2
H
3
CL
C
2
H
5
SH
C
6
H
5
CH
3
C
2
H
3
O
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
40=45
n/d
n/d
40=200
40=200
n/d
40=55
C
2
H
2
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
340=45
n/d
n/d
340=200
340=200
n/d
340=55
C
3
H
3
N
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
75=45
n/d
n/d
75=200
75=200
n/d
75=55
NH
3
n/d
n/d
n/d
n/d
5=-0.5
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
AsH
3
n/d
1=0.56
n/d
n/d
2=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
Br
2
n/d
n/d
n/d
n/d
5=-0.1
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
C
4
H
6
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
170=45
n/d
n/d
170=200
170=200
n/d
170=55
CS
2
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
140=45
n/d
n/d
140=200
140=200
n/d
140=55
CO
n/d
n/d
n/d
n/d
5=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
Cl
2
n/d
n/d
n/d
n/d
5=-0.05
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
ClO
2
(>10ppm)
n/d
n/d
n/d
n/d
5=-0.016
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
ClO
2
(=10ppm)
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
B
2
H
6
n/d
1=0.72
n/d
n/d
2=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
C
3
H
5
OCl
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
50=45
n/d
n/d
50=200
50=200
n/d
50=55
C
2
H
5
OH
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
180=45
n/d
n/d
180=200
180=200
n/d
180=55
C
2
H
5
SH
n/d
n/d
n/d
n/d
5=<3
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/a
n/d
C
2
H
4
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
220=45
n/d
n/d
220=200
220=200
n/d
220=55
C
2
H
4
O
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
275=45
n/d
n/d
275=200
275=200
n/d
275=55
F
2
n/d
n/d
n/d
n/d
2=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
CH
2
O
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
330=45
n/d
n/d
330=200
330=200
n/d
330=55
GeH
4
n/d
1=1
n/d
n/d
2=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
N
2
H
4
n/d
n/d
n/d
n/d
2=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
H
2
(ppm)
n/d
n/d
n/d
n/d
5=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
H
2
(LEL)
n/d
n/d
n/d
n/d
2=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
HBr
n/d
n/d
n/d
n/d
5=2.5
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
HCl
n/d
n/d
n/d
n/d
5=2.5
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
HCN
n/d
n/d
n/d
n/d
2=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
HF
yes n/d
n/d
n/d
3=4(theory)
yes n/d
n/d
n/d
n/d
yes n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
H
2
S
n/d
n/d
n/d
n/d
5=<1
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
3=1
n/d
CH
3
OH
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
415=45
n/d
n/d
415=200
415=200
n/d
413=55
CH
3
SH
n/d
n/d
n/d
n/d
5=<2
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
2=1
n/d
NO
n/d
n/d
n/d
n/d
5=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
NO
2
n/d
n/d
n/d
n/d
5=-0.025
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
O
3
n/d
1=0.015
n/d
n/d
2=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
COCl
2
n/d
n/d
n/d
n/d
2=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
PH
3
n/d
1=0.56
n/d
n/d
2=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
SiH
4
n/d
n/a
n/d
n/d
2=0
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
SO
2
n/d
n/d
n/d
n/d
n/a
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
C
4
H
6
O
2
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
200=45
n/d
n/d
n/a
200=200
n/d
200=55
C
2
H
3
Cl
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
n/d
200=45
n/d
n/d
200=200
n/a
n/d
200=55
n/a – not applicable
n/d – no data