INFICON PEG100 Medium to Ultra-High Vacuum Gauge - Manual (Page 2)

General Remarks
We reserve the right to alter the design or any data given
in these Operating Instructions.
The illustrations are not binding.
Contents Page
1 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1.1 Purpose . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2
Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.1 General Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.2 Measurement System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.3 Signal Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.4 Control Inputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.5 Status Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.6 Mechanical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.2.7 Ambient Conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.3
Technical Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.4 Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.4.1 Supplied Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.4.2 Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.1 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.2 Electrical Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.2.1 Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.2.2 Switching on the High Tension . . . . . . . . . . . . 11
Page
2.2.3 Measurement Signal Output . . . . . . . . . . . . . 11
2.2.4 Status Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.2.5 Identification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3
Start-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.3.1 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.3.2 Measurement System Status Indication . . . . . 14
2.3.3 Degassing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.4
Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.1 Service at INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.2 The Electronics Assembly . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.3 Cleaning the Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.3.1 Detaching the Electronics Assembly . . . . . . . 16
3.3.2 Disassembly of the Sensor . . . . . . . . . . . . . . 17
3.3.3 Cleaning the Individual Parts . . . . . . . . . . . . . 17
3.3.4 Assembly of the Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . 18
3.3.5 Assembly of the Electronics Assembly . . . . . . 18
4 Spare Parts List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5 Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Annex 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Annex 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
EEC Declaration of Conformity . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Declaration of Contamination . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
2
tina14e1 (0106) PEG100.ga
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1 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.1.1 Purpose . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2
Technical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.1 General Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.2.2 Measurement System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.3 Signal Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.4 Control Inputs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.5 Status Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2.6 Mechanical Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.2.7 Ambient Conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.3
Technical Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.4 Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.4.1 Supplied Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.4.2 Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.1 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.2 Electrical Connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
2.2.1 Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.2.2 Switching on the High Tension . . . . . . . . . . . . 11
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2.2.3 Measurement Signal Output . . . . . . . . . . . . . 11
2.2.4 Status Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.2.5 Identification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
2.3
Start-up . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.3.1 Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.3.2 Measurement System Status Indication . . . . . 14
2.3.3 Degassing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
2.4
Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
3 Maintenance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.1 Service at INFICON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.2 The Electronics Assembly . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.3 Cleaning the Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
3.3.1 Detaching the Electronics Assembly . . . . . . . 16
3.3.2 Disassembly of the Sensor . . . . . . . . . . . . . . 17
3.3.3 Cleaning the Individual Parts . . . . . . . . . . . . . 17
3.3.4 Assembly of the Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . 18
3.3.5 Assembly of the Electronics Assembly . . . . . . 18
4 Spare Parts List . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
5 Disposal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
Annex 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
Annex 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
EEC Declaration of Conformity . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Declaration of Contamination . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
2
tina14e1 (0106) PEG100.ga