Baumer OHDM 16N5651 - Manual (Page 3)

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OHDM 16N5651
Montage und Justage
Mounting
Montage
• Der Laser-Lichttaster kann sowohl mit dem Befestigungs-
winkel Art.-Nr. 113917 oder direkt mit M4-Schrauben be-
festigt werden.
• Der Taster ist immer auf das Tastgut auszurichten. Bewegte
Objekte sollten den Laserstrahl seitlich anfahren (siehe
Pfeil** in Zeichnung "Abmessungen" auf Seite 1).
• Zur Reinigung der Frontscheibe genügt i.a. ein sauberer (!),
weicher und trockener Stofflappen. Bei starker Verschmutz-
ung kann reiner Alkohol ver wendet werden.
• Den Sensor exakt parallel zur Waferoberfläche montieren
(Bild 1).
• Den Sensor mit einer Distanz von 123 bis 143 mm zur
Waferkante montieren (Bild 2).
• Der Laserstrahl muss die Waferkante in einem Winkel von
85° bis 87° treffen (Winkel in der Waferebene gemessen)
(Bild 2).
• The diffuse laser sensor can be directly installed using the
3 through holes provided for M4 screws or with the mount
bracket 113917.
• Sensor must always be aimed at target. Moving parts must
approach laser beam laterally (see arrow** in drawing
"dimensions" on page 1).
• When cleaning the front window of the sensor use a
clean (!), soft and dry cloth. In case of severe soiling the use
of pure alcohol is recommended.
• Mount the sensor exactly parallel to the wafer surface
(figure 1).
• Mount the sensor at a distance of 123...143 mm from the
wafer edge (figure 2).
• Mount the sensor in such a way that the laser beam hits
the wafer edge at an angle of 85° bis 87° (angle measured
within the wafer surface plane) (figure 2).
• Le détecteur réflex laser peut être monté avec l'équerre
de fixation Art.-Nr. 113917 ou tout simplement avec des
vis type M4.
• Alignez le faisceau laser sur les objets à détecter. Des
objets en mouvement devraient approcher le faisceau
latéralement (voir flèche** dans le dessin "dimensions"
à la page 1).
• Le nettoyage de la fenêtre frontale se fait en général
avec un chiffon propre (!), souple et sec. En cas d'
encrassement tenace, on peut se servir d'alcool pur.
• Montez le capteur précisément parallèle à la surface
des wafer (voir dessin 1).
• Montez le capteur à une distance de 123 143 mm
du bord des wafers (voir dessin 2).
• Montez le capteur dans une position afin que le
faisceau laser touche le bord des wafers dans un
angle de 85° à 87°. Cet’ angle est mesuré dans le plan
de la surface du wafer (voir dessin 2).
Ausrichtung des Sensors
Sensor alignment instruction
Alignement du capteur
Wafer
Sensor
Sensor
Wafer
OK
NOK
123 ... 143 mm
W
a
fe
r
ta
n
g
e
n
t
lin
e
a
t
la
s
e
r
in
ci
d
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n
ce
p
o
in
t
(173 ... 193 mm)
B
a
ck
g
ro
u
n
d
> 400 mm
86°
90°
Figure 1 Figure 2